XUV 反射鏡可用于反射 XUV 或軟 X 射線光，主要用于高次諧波產(chǎn)生、EUV、阿秒產(chǎn)生等試驗。

對于 XUV 和軟 X 射線 , 我們鍍多層膜（multilayer coatings），其可用于選擇波長。

XUV 多層膜需要在表面鍍數(shù)十到數(shù)百層 0.1nm 厚的薄膜才能實現(xiàn)。這個對于整個工藝和設(shè)計有著非常大的要求，需要亞原子級別的鍍膜控制精度。

我們可以提供 23-200eV 波段的反射鏡。針對 X-ray 波段（>keV）, 我們可以提供掠入射的反射鏡。

我們可以提供各種形狀和尺寸的 XUV 多層鏡，包括平面、曲面（可用于聚焦）、雙環(huán)鏡（中心反射 XUV 波段、外環(huán)反射其它波段，如 IR,NIR 光）、平面中心開孔等等。